Aluminum Nitride (AlN) Sputtering Target, 99.9% Purity, Circular

Aluminum Nitride (AlN) Sputtering Target, 99.9% Purity, Circular

Nanostore의 Aluminum Nitride (AlN) 스퍼터링 타겟은 마그네트론 스퍼터링, 이온 스퍼터링, 실험실용 박막 증착에 사용되는 순도 99.9% 질화물 세라믹 PVD 소스 재료입니다. 연구, 개발, 소량 공정 작업을 위해 원형 타겟 형상으로 공급됩니다.

주요 특징

소스 재료
순도 99.9%로 공급되며 박막 공정에 사용됩니다.

원형 타겟 형상
1.97 inch diameter (50 mm), 2 inch diameter (50.8 mm), 2.36 inch diameter (60 mm), 3 inch diameter (76.2 mm), 3.15 inch diameter (80 mm), 3.94 inch diameter (100 mm) 등의 원형 직경으로 제공되며, 두께 및 장착 옵션은 선택한 구성에 따라 3 mm thick, 3 mm + 2 mm Cu backing, 3 mm + 3 mm Cu backing, 3 mm + 1 mm Cu backing, 3 mm + 2 mm Cu backing + magnetic shim, 3 mm + 3 mm Cu backing + magnetic shim 등이 있습니다.

관리된 가공 및 검사
타겟 제조 공정에는 소재 선정, 성형, 열처리, 가공, 치수 검사, 표면 처리, 세척, 최종 품질 검토가 포함될 수 있습니다. 조성 및 불순물 관리는 필요에 따라 ICP, GDMS, 탄소/황 분석, 산소/질소 분석, 금속조직 검사 등의 분석 방법으로 지원될 수 있습니다.

클린 취급 및 포장
타겟은 클린 표면 취급과 보호 포장을 거쳐 증착 공정용으로 준비됩니다. 밀봉 상태로 건조한 환경에 보관하고, 클린 장갑을 착용하여 취급하며, 설치 전에는 오일, 먼지, 수분 등 표면 오염 물질과의 직접 접촉을 피하십시오.

장착 구성 안내
이 제품에서 선택 가능한 구성에는 3 mm + 1 mm Cu backing; 3 mm + 2 mm Cu backing; 3 mm + 2 mm Cu backing + magnetic shim; 3 mm + 3 mm Cu backing; 3 mm + 3 mm Cu backing + magnetic shim 등의 장착 옵션이 포함됩니다. 스퍼터링 소스 형상 및 캐소드 요구 사항에 따라 일반 타겟, Cu 백킹 타겟, 및/또는 마그네틱 심 구성 중에서 선택하십시오.

기술 사양

재질: Aluminum Nitride (AlN)
순도/조성: 99.9% Purity
형상: Circular sputtering target
지원 직경: 1.97 inch diameter (50 mm), 2 inch diameter (50.8 mm), 2.36 inch diameter (60 mm), 3 inch diameter (76.2 mm), 3.15 inch diameter (80 mm), 3.94 inch diameter (100 mm)
지원 두께/백킹 옵션: 3 mm thick, 3 mm + 2 mm Cu backing, 3 mm + 3 mm Cu backing, 3 mm + 1 mm Cu backing, 3 mm + 2 mm Cu backing + magnetic shim, 3 mm + 3 mm Cu backing + magnetic shim
적용 장비: Single-target sputtering systems, multi-target sputtering systems, ion sputtering systems, and magnetron sputtering equipment
포장: Protective target packaging for laboratory shipment and storage

주요 용도

– AlN 박막 증착; 압전 및 음향 소자 연구; 열관리 소재 연구; 질화물 세라믹 코팅 개발
– 학술, 산업, 파일럿 규모 박막 공정 개발