SrTiO₃ Single Crystal Wafers

標準フォーマット: Circular wafer — 1″ diameter (25.4 mm) × 0.5 mm.
研磨: Single-Side Polished (SSP) or Double-Side Polished (DSP).

製品説明:
概要: Strontium Titanate (SrTiO₃) 単結晶ウェハーは、高温超伝導 (HTS)、マグネトロンスパッタリング、パルスレーザー成膜 (PLD) 向けの製品です。このCubicペロブスカイト結晶は、複合酸化物薄膜のエピタキシャル成長に使用されます。

技術仕様:
– 結晶系: Cubic
– 育成方法: Flame Fusion (Verneuil Method) / Floating Zone Method
– 格子定数: a = 3.905 Angstrom
– 融点: 2060 °C
– 密度: 5.122 g/cm³
– 硬度: 6 – 6.5 Mohs
– 熱膨張係数: 9.4 x 10⁻⁶ / °C
– 誘電率 (ε): ~300 (300 K)
– 化学的安定性: Insoluble in water
– 誘電正接 (Tangent Delta):
– ~ 5 x 10⁻⁴ (300K)
– ~ 3 x 10⁻⁴ (77K)
– 色 & 外観: Transparent (may have a slight brown tint depending on annealing state); Twin-free

製造仕様:
– 厚さ (標準): 0.5mm / 1.0mm
– 寸法公差: < ±0.1mm
– 厚さ公差: < ±0.015mm (Specialized request: < ±0.005mm)
– 研磨: Single-side or Double-side
– 結晶面方位精度: ±0.5°
– エッジ方位精度: 2° (Specialized request: < 1°)
– 対応方位: <100>, <110>, <111>, etc.