Square Sapphire (Al2O3) Single Crystal Substrates, C-plane (0001)

Square Sapphire (Al₂O₃) Single Crystal Substrates, C-plane (0001)

価格帯: ¥5,111 – ¥16,227

※日本円による参考価格（日本の消費税は含まれません）

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追加情報

Square Sapphire (Al₂O₃) Single Crystal Substrates, C-Plane (0001)

概要: 角形の単結晶サファイア（Al₂O₃）基板、C-plane (0001) 方位です。5 × 5 mm から 50 × 50 mm までのサイズ、厚さ 0.5、1.0、2.0、3.0 mm、片面研磨（SSP）または両面研磨（DSP）でご用意しています。マスクアライメント、コーナー基準の成膜、横方向の薄膜パターニングなどの用途に使用されます。

主な仕様:
– 形状: Square (no flats/notches)
– 方位: C-plane (0001)
– サイズ: 5×5, 10×10, 15×15, 20×20, 25×25, 30×30, 50×50 mm（これ以上のサイズはご相談ください）
– 厚さ: 0.5、1.0、2.0、3.0 mm
– 研磨: SSP (single-side polished) または DSP (double-side polished)
– 純度: 99.999%+ 単結晶 Al₂O₃
– 表面粗さ: <0.5 nm Ra（研磨面）

材料特性:
– 硬度: 9 Mohs
– 融点: 2,040°C
– 光透過域: 0.15 – 5.5 μm（UV～中赤外）
– 熱伝導率: ~46 W/(m·K)（室温）

主な用途:
– 酸化物薄膜の成膜（ZnO、NiO、TiO₂、Fe₂O₃）
– UV・IR 分光用光学窓
– MEMS・マイクロセンサー基板の作製
– CVD 研究用基板
– 角形基板形状を必要とする半導体研究
– 角形フォーマットでのフォトリソグラフィマスクアライメント

備考:
– 円形ウェハー（標準直径）については、円形サファイア（Al₂O₃）基板の製品ページをご覧ください
– 50×50 mm を超えるカスタムサイズはご要望に応じて対応可能です

オプション1	10 × 10 × 0.5 mm, 10 × 10 × 1 mm, 10 × 10 × 2 mm, 10 × 10 × 3 mm, 15 × 15 × 0.5 mm, 15 × 15 × 1 mm, 15 × 15 × 2 mm, 15 × 15 × 3 mm, 20 × 20 × 0.5 mm, 20 × 20 × 1 mm, 20 × 20 × 2 mm, 20 × 20 × 3 mm, 25 × 25 × 0.5 mm, 25 × 25 × 1 mm, 25 × 25 × 2 mm, 25 × 25 × 3 mm, 30 × 30 × 0.5 mm, 30 × 30 × 1 mm, 30 × 30 × 2 mm, 5 × 5 × 1 mm, 50 × 50 × 1 mm, 50 × 50 × 2 mm
オプション2	Double-side Polished (DSP), Single-side Polished (SSP)

オプション1

10 × 10 × 0.5 mm, 10 × 10 × 1 mm, 10 × 10 × 2 mm, 10 × 10 × 3 mm, 15 × 15 × 0.5 mm, 15 × 15 × 1 mm, 15 × 15 × 2 mm, 15 × 15 × 3 mm, 20 × 20 × 0.5 mm, 20 × 20 × 1 mm, 20 × 20 × 2 mm, 20 × 20 × 3 mm, 25 × 25 × 0.5 mm, 25 × 25 × 1 mm, 25 × 25 × 2 mm, 25 × 25 × 3 mm, 30 × 30 × 0.5 mm, 30 × 30 × 1 mm, 30 × 30 × 2 mm, 5 × 5 × 1 mm, 50 × 50 × 1 mm, 50 × 50 × 2 mm

オプション2

Double-side Polished (DSP), Single-side Polished (SSP)